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空氣浴塵室

潔淨設備

空氣浴塵室

空氣浴塵室(AIR SHOWER)為作業者或物品進入CLEANROOM 時用以吹除人體衣服上及設備、物料、工具的塵埃，同時其具有AIR Lock 氣鎖功能可以有效控制人員進出及作為不同等級潔淨室的緩衝室達到防止交叉汙染。

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傳遞箱(PASS BOX)為置於潔淨室隔間牆上之裝置，其功能是做為潔淨室內外物品傳遞之緩衝區，其可防止於傳遞物品時由於門的開啟而破壞了潔淨室氣流與室壓，更可減少作業人員走動的時間而防止外區塵埃的進入。也因此傳遞箱的進出口應具有不可同時開啟的連鎖控制，以達到防止交叉汙染。

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空氣浴塵室

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壓力平衡器

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壓力平衡器(RELIEF DAMPER)稱釋壓閥，其作用為調整潔淨室內外氣壓之高低差，維持其需求並達到防止外界之汙染空氣侵入室內，亦可防止室內有害氣體外洩，達到維持負壓之需求所設立的壓力平衡器。

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自動捲門式空氣浴塵室

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大物量材料進入潔淨室使用空氣浴塵室內有效進入空間要較寬及高之需求, 使用一般雙側開自動鋁門, 將佔據很寬的開門空間, 且過大的鋁門片有結構及不易關門之問題,一般硬式金屬捲門, 速度慢且較不安全, 故都採用PVC軟式快速捲門。

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